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    愛德華半導體真空泵維修EPX180L

    簡要描述:

    愛德華半導體真空泵維修EPX180L:高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

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    更新時間:2023-03-16

    產品產地:英國

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    愛德華半導體真空泵維修EPX180L
    品牌Edwards/英國愛德華輸送介質其他
    泵軸位置邊立式葉輪數目其他
    應用領域醫療衛生,環保,食品,能源,電氣

    愛德華半導體真空泵維修EPX180L

    新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

    了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

    IPX 系列,可提供的性能,與 EPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

    應用:

    EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

    功能和優勢

    緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級

    管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

    低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可化功率效率。

    的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

    超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

    脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

    非??煽縀PX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,程度地延長了

    泵的使用壽命。

    可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。 

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